Все документы // ГОСТы, СНиПы, РД, ПБ, СП, ОР, СТО... // 29 Электротехника // ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния